FLOWEL硅烷SIH4气瓶柜GasCabinet
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详细信息

特气柜（Gas Cabinet），气瓶柜（BSGS），气瓶架(Rack)，阀门箱（VMB），VMP。

1, 双工艺47L钢瓶供应
2. 自动型, Siemens PLC+触摸屏控制
3. 自动吹扫, 自动切换，PN2手动进气
4. 带喷淋
5.气柜抽风配置负压表
6. 出入口端过滤(Gasket filter and linefilter)
7. 真空发生器，高低压排气
8. 高低压端压力传感器及压力表
9.左右盘面单独氦检漏阀
10.配工艺秤

主要应用于：半导体，太阳能光伏，微电子，镀膜等需要高纯气体的行业。

设备有全自动型，半自动型，手动型；

详细图纸和资料请联系供应商。